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特色

條碼、標籤及字元辨識,完整追蹤生產歷程。

提供即時影像監控。

高效淨化及靜電消除等微環境控制,確保傳送過程中不受

汙染。

自動壓力控制系統可以通過環境壓力變化,調節風扇轉速

以保持設定值。

提供客製化晶圓或其它基板搬運需求。


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